باریکه یونی متمرکز
FOCUS ION BEAM SCANNING ELECTRON MICROSCOPES
دستگاه های Dual Beam مجهز به تفنگهای الکترونی و یونی بوده و همزمان با تصویر برداری و مطالعه نمونه با پرتو الکترونی امکان برش و اصلاح در ابعاد میکرونی و نانویی با پرتو یونی هم به دستگاه اضافه شده است. FIB در گستره وسیعی از کاربرد ها از نمونه سازی برای مطالعه TEM تا تستهای قابلیت اطمینان از کارایی و کنترل کیفیت در ساخت مدارات مجتمع در صنعت نیمه هادی به کار می رود.